腐蚀痕迹由于构件材料与周围的环境介质发生化学或电化学作用而在构件表面留下的腐蚀产物及构件材料表面损伤的标记，称为腐蚀痕迹。（3）电侵蚀痕迹由于电能的作用，在与电接触或放电的构件部位留下的痕迹称为电侵蚀痕迹。电侵蚀痕迹分为两类。电接触痕迹由于电接触现象而在电接触部位留下的电侵蚀痕迹。静电放电痕迹由于静电放电现象面在放电部位留下的电侵蚀痕迹。（4）热损伤痕迹由于接触部位在热能作用下发生局部不均匀的温度变化而留下的痕迹。金属表面层局部过热、过烧、熔化、直至烧穿、表面保护层的烧焦都会留下热损伤痕迹。不同的温度有不同的热损伤颜色，且构件材料表面层成分、结构会发生变化。

表面性能有所改变（5）加工痕迹对失效分析有帮助的主要是非正常加工痕迹，即留在构件表面的各种加工缺陷，如刀痕、划痕、、变形约束等。（6）污染痕迹各种外来污染物附着在构件表面而留下的痕迹是污染痕迹。痕迹分析主要内容：痕迹的形貌，是塑性变形、反应产物、变、分离物和污染物的具体形状、尺寸、数量及分布；痕迹区以及污染物、反应产物的化学成分；痕迹颜色的种类、色度和分布、反光性等；痕迹区材料的组织和结构；痕迹区的表面性能(耐磨性、耐蚀性、显微硬度、表面电阻、涂镀层的结合力等)；痕迹区的残余应力分布；从痕迹区散发出来的各种气味；痕迹区的电荷分布和磁性等。碳钢金相显微组织解析：材料的金相检验主要目的是检查微观缺陷。
如脱碳层的深度、夹杂物和金相组织形态等。